DISCHARGE EXCITATION EXCIMER LASER DEVICE

摘要

Laser à halogénure de gaz rare comprenant une électrode auxiliaire et deux électrodes de décharge principales, pouvant servir, par exemple, de source de lumière pour la lithographie ou le travail de précision (alésage, reformage sur divers matériaux), ou de laser de recuisson. L'appareil est constitué de deux électrodes principales de décharge (1, 2), d'un diélectrique (3) et d'une électrode auxiliaire (4). Le diélectrique présente un élément en forme de plaque faisant face aux électrodes principales de décharge et de forme tubulaire. L'électrode auxiliaire est contenue dans un diélectrique de forme tubulaire ménageant un espacement et fait face à une des électrodes de décharge principales, l'élément en forme de plaque étant situé entre les deux. Grâce à cette configuration, la densité d'électrons de l'ionisation préliminaire est élevée, si bien que la puissance de sortie du laser est élevée. La performance d'isolation est elle aussi accrue. L'appareil peut donc se révéler utile pour des applications nécessitant une puissance élevée.