发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03214754(A) 申请公布日期 1991.09.19
申请号 JP19900011311 申请日期 1990.01.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INOUE KAORU
分类号 H01L21/76;H01L21/203;H01L21/265;H01L27/095 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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