发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03214754(A) |
申请公布日期 |
1991.09.19 |
申请号 |
JP19900011311 |
申请日期 |
1990.01.19 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
INOUE KAORU |
分类号 |
H01L21/76;H01L21/203;H01L21/265;H01L27/095 |
主分类号 |
H01L21/76 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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