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发明名称 ANNEALING DEVICE FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR910007100(B1) 申请公布日期 1991.09.18
申请号 KR19880006374 申请日期 1988.05.30
申请人 DAI NIPPON SCREEN SEIZO CO.,LTD. 发明人 KITAKAWA KUNIO;MAEDA AKIRA;MATSUMURA YOSIO
分类号 H01L21/683;C30B25/10;C30B31/12;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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