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发明名称 AN EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0357425(A3) 申请公布日期 1991.09.18
申请号 EP19890308823 申请日期 1989.08.31
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KUROSAWA, HIROSHI;AMEMIYA, MITSUAKI;TERASHIMA, SHIGERU;UDA, KOJI;SHIMODA, ISAMU;UZAWA, SHUNICHI
分类号 G03F7/20;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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