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发明名称 CYCLIC OR BICYCLIC ALUMINIUM, GALLIUM OR INDIUM ORGANIC COMPOUNDS AND THEIR USE FOR VAPOUR DEPOSITION OF METALS ON SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0325651(B1) 申请公布日期 1991.09.18
申请号 EP19880907690 申请日期 1988.07.26
申请人 MERCK PATENT GESELLSCHAFT MIT BESCHRAENKTER HAFTUNG 发明人 HOSTALEK, MARTIN;POHL, LUDWIG;ERDMANN, DIETRICH;SCHUMANN, HERBERT;HARTMANN, UWE;HEYEN, MEINO;JUERGENSEN, HOLGER
分类号 C07F5/06;C30B29/40;C07F5/00;C23C16/18;C23C16/20 主分类号 C07F5/06
代理机构 代理人
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