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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03212956(A) 申请公布日期 1991.09.18
申请号 JP19900008702 申请日期 1990.01.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SHIMAZAKI TOYOYUKI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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