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经营范围
发明名称
X-RAY LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号
EP0127861(B1)
申请公布日期
1991.09.18
申请号
EP19840106027
申请日期
1984.05.26
申请人
THE UNIVERSITY OF ROCHESTER
发明人
YAAKOBI, BARUKH
分类号
G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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