发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03211824(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 JP19900007723 申请日期 1990.01.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TATEMATSU MIKIO
分类号 H01L21/324;H01L21/265 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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