发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03211838(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 JP19900007461 申请日期 1990.01.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TANEMURA FUMINORI
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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