发明名称 Semiconductor integrated circuit device and a method for manufacturing the same
摘要
申请公布号 US5049967(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 US19900631907 申请日期 1990.12.21
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 WATANABE, ATSUO;IKEDA, TAKAHIDE;TSUKUDA, KIYOSHI;HIRAO, MITSURU;MUKAI, TOUJI;KAMEI, TATSUYA
分类号 H01L27/08;H01L21/8249;H01L27/06;H01L27/118;H01L29/68;H01L29/78 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
地址