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发明名称 METHOD FOR INSPECTING SHIFTED AMOUNT OF SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING DATA
摘要
申请公布号 JPH03211856(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 JP19900007842 申请日期 1990.01.17
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 HORIE YUKISADA
分类号 H01L21/66;H01L21/027 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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