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经营范围
发明名称
METHOD FOR DEGASSING CVD DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03211280(A)
申请公布日期
1991.09.17
申请号
JP19900006108
申请日期
1990.01.17
申请人
HITACHI LTD
发明人
KAGATSUME AKIKO;UEDA SHINJIRO;NAKAMURA HIROSHI
分类号
C23C16/44;H01L21/205
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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