发明名称 METHOD FOR DEGASSING CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03211280(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 JP19900006108 申请日期 1990.01.17
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAGATSUME AKIKO;UEDA SHINJIRO;NAKAMURA HIROSHI
分类号 C23C16/44;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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