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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03211274(A) 申请公布日期 1991.09.17
申请号 JP19900007531 申请日期 1990.01.17
申请人 VICTOR CO OF JAPAN LTD 发明人 AKITA KOJI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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