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发明名称
SUBSTRATE HOLDER
摘要
申请公布号
JPH03211277(A)
申请公布日期
1991.09.17
申请号
JP19900007376
申请日期
1990.01.16
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
OGAWA KIYOSHI
分类号
C23C14/54
主分类号
C23C14/54
代理机构
代理人
主权项
地址
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