| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR MAGNETRON SPATTERING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03211275(A) |
申请公布日期 |
1991.09.17 |
| 申请号 |
JP19900306982 |
申请日期 |
1990.11.13 |
| 申请人 |
OPTICAL COATING LAB INC |
发明人 |
JIEIMUZU DABURIYUU SHIIZAA;TOOMASU EICHI AREN;ERITSUKU AARU DEITSUKII;BURAIANTO PII HITSUCHIWA;RORUFU EFU IRUZURII;ROBAATO EFU KURINGAA;POORU EMU REFUEBURU;MAIKERU EI SUKOOBII;RICHIYAADO AI SHIDON;DEIBUITSUDO ERU SOBERANISU;MAIKERU DEII TENPURU;KUREIGU SHII BUAN HOON;PATORITSUKU AARU UENTOWAASU |
| 分类号 |
C23C14/35;C23C14/00;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56;C23C14/58 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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