| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM AUFTRAGEN VON HYDRIERTEM, AMORPHEM SILIZIUM AUF EIN SUBSTRAT IN PLASMAUMGEBUNG. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AT66701(T) |
申请公布日期 |
1991.09.15 |
| 申请号 |
AT19870810548T |
申请日期 |
1987.09.23 |
| 申请人 |
INSTITUT DE MICROTECHNIQUE |
发明人 |
CURTINS, HERMANN |
| 分类号 |
C23C16/30;C23C16/22;C23C16/50;C23C16/509;H01L21/205;H01L31/04;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
