发明名称 ELECTRIC SWITCH
摘要
申请公布号 JPH03210716(A) 申请公布日期 1991.09.13
申请号 JP19900004876 申请日期 1990.01.11
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KONO MASAHIKO
分类号 H01L21/66;H01H9/56 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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