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发明名称 PRODUCTION OF THIN SI STRIP FOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH03208894(A) 申请公布日期 1991.09.12
申请号 JP19900002616 申请日期 1990.01.11
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 IGUCHI MASAO
分类号 C30B11/02;C30B29/06 主分类号 C30B11/02
代理机构 代理人
主权项
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