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发明名称
VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG VON KONZENTRATIONSTIEFENPROFILEN VON PRUEFLINGEN MIT SCHICHTSTRUKTUREN MIT EINER ELEKTRONENSTRAHLMIKROSONDE
摘要
申请公布号
DD293895(A5)
申请公布日期
1991.09.12
申请号
DD19900339879
申请日期
1990.04.19
申请人
ADW DER DDR INSTITUT FUER MECHANIK,DE
发明人
STRAUBE,HOLGER,DE;KAEMPFE,BERND,DE;KOERTEL,GUENTHER,DE;QUAECK,IRMTRAUD,DE;STRAUBE,HELFRIED,DE
分类号
G01N23/225;(IPC1-7):G01N23/225
主分类号
G01N23/225
代理机构
代理人
主权项
地址
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