| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03209778(A) |
申请公布日期 |
1991.09.12 |
| 申请号 |
JP19900003935 |
申请日期 |
1990.01.11 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
KAMIJIYOU TAKETOMO;NOHARA SHIGEMI |
| 分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;H01L21/3063;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
