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经营范围
发明名称
DRY ETCHING
摘要
申请公布号
JPH03209819(A)
申请公布日期
1991.09.12
申请号
JP19900003524
申请日期
1990.01.12
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NAGATA SHUNICHI;YASUNAGA TETSUHIRO;MISE TATSUYA
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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