发明名称 LOGICAL SIMULATOR
摘要
申请公布号 JPH03209572(A) 申请公布日期 1991.09.12
申请号 JP19900004929 申请日期 1990.01.12
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 HASEBE TETSUYA;HAYASHI HIROAKI;SHINODA KAZUKI
分类号 G01R31/28;G06F11/25;G06F11/26;G06F17/50;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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