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发明名称
LOGICAL SIMULATOR
摘要
申请公布号
JPH03209572(A)
申请公布日期
1991.09.12
申请号
JP19900004929
申请日期
1990.01.12
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
HASEBE TETSUYA;HAYASHI HIROAKI;SHINODA KAZUKI
分类号
G01R31/28;G06F11/25;G06F11/26;G06F17/50;H01L21/66
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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