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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPH03208883(A) 申请公布日期 1991.09.12
申请号 JP19900001600 申请日期 1990.01.10
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 SHIMIZU ATSUSHI
分类号 C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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