| 发明名称 |
APERTURE FOR SHAPING SHAPE OF CHARGED PARTICLE BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03209200(A) |
申请公布日期 |
1991.09.12 |
| 申请号 |
JP19900004745 |
申请日期 |
1990.01.11 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MISHIRO TOSHIHIRO;KAWAI KENJI |
| 分类号 |
G21K1/04;H01J37/09;H05H7/08 |
主分类号 |
G21K1/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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