发明名称 CORRECTION OF MARK AND MARKING
摘要
申请公布号 JPH03208363(A) 申请公布日期 1991.09.11
申请号 JP19900003229 申请日期 1990.01.10
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 ITO KAORU;KIYONO MASAMI;SAITO JOICHI
分类号 H01L21/56;H01L23/28 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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