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发明名称 ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03208248(A) 申请公布日期 1991.09.11
申请号 JP19900001425 申请日期 1990.01.08
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 FURUYA MASAYASU
分类号 G01N27/62;H01J37/08;H01J37/317;H01J49/12;H01J49/30 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
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