Optical waveguide component and method of manufacturing an optical waveguide component.

摘要

Bei einem Verfahren zum Herstellen eines optischen Wellenleiterbaulementes, bei dem ein Glassubstrat mit Lichtwellenleiter aus einem optischen Polymer bestückt wird, wird die Oberfläche des Glassubstrats mit einer Schutzschicht überzogen und die Schutzschicht zur Herstellung einer Linienstruktur an den betreffenden Stellen, an denen die Lichtwellenleiter anzuordnen sind, einem photolithographischen Prozeß unterworfen. In den dadurch in der Schutzschicht gebildeten Linienspalten wird Flußsäure auf das Glassubstrat zum Ausätzen eines kapillarartigen Kanals gebacht und der entstandene Kanal mit dem optischen Polymer gefüllt. Dadurch können in Wellenleiterbauelementen Lichtwellenleiter eingebracht werden, deren Querschnittsgeometrie der der für die Lichtwellenleitung verwendeten Übertragungsglasfasern angenähert ist. <IMAGE>