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发明名称 Method of repairing a defect in a lithographic mask
摘要
申请公布号 IE910691(A1) 申请公布日期 1991.09.11
申请号 IE19910000691 申请日期 1991.03.01
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 JOHANNES WILHELMUS MARIE JACOBS;CHRISTIAAN JOHANNES CLEMENT MARIE NILLESEN;JOHANNES MATHIAS GERARDUS RIKKEN
分类号 G03F1/08;C23C18/16;H01L21/027;H01L21/30;H05K3/00;H05K3/18;H05K3/22;(IPC1-7):C23C18/16 主分类号 G03F1/08
代理机构 代理人
主权项
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