发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03208370(A) 申请公布日期 1991.09.11
申请号 JP19900001507 申请日期 1990.01.10
申请人 HITACHI LTD;HITACHI COMPUT ENG CORP LTD 发明人 MITANI TSUNEO;YAMADA HIDEYUKI;ENOMOTO MINORU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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