标尺光栅精度检测仪

摘要

本实用新型是一种标尺光栅精度检测仪，涉及光栅数显技术领域，其特征在于采用两根具有相同栅距的标尺光栅面-面对置组合成对，通过光电探测器相对于标尺光栅对作X、Y向移动，测量其莫尔条纹图象的光强变化，经数字显示仪输出数据，再经数据处理得到每根标尺光栅的刻线误差。本实用新型具有测量精度高、其测量准确度不受被测标尺光栅精度的限制，重复性好、成本低、实用性强、便于操作使用等优点。

主权项

1、一种包括光电探测器和数字显示仪的标尺光栅精度检测仪，其特征在于两根具有相同栅距的标尺光栅面一面对置组合成对，光电探测器中的发光和接收元件对应分跨在标尺光栅对的两侧，通过探测器相对于标尺光栅对作X、Y向移动测量其莫尔条纹图象的光强变化，数字显示仪显示输出，经数据处理得出每标根尺光栅的刻线误差。