发明名称 MICROWAVE PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03208338(A) 申请公布日期 1991.09.11
申请号 JP19900002709 申请日期 1990.01.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHINAGAWA KEISUKE;OJIRI HIDEHIRO
分类号 C23F4/00;H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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