| 摘要 |
<p>Die Vorrichtung umfasst eine Positioniereinheit, die speziell für das Halten von Waferkassetten (1) geeignet ist. Die planeinstellbare Kassettenaufnahme besteht dabei aus einer auf einem Gehäuse (10) angeordneten Grundplatte (11) und darüber befestigter Kassettenauflageplatte (12). Ueber entsprechende Auflagekugelschrauben (17, 18, 19) kann die Kassettenauflageplatte höhenverstellt und niveliert werden. Das Einsetzen der Kassette (1) ist über Führungskufen (29, 30) leicht einleitbar und wird durch elektrische Schalter (20, 21) quittiert. <IMAGE></p> |
