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发明名称 FOCUSING ION BEAM GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03208247(A) 申请公布日期 1991.09.11
申请号 JP19900002808 申请日期 1990.01.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIROSE YUKINORI
分类号 B23K15/00;H01J37/20;H01J37/26;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
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