发明名称 ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03208244(A) 申请公布日期 1991.09.11
申请号 JP19900001426 申请日期 1990.01.08
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 HARADA YASUTAKA
分类号 H01J37/08;H01J27/08;H01J37/30 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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