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发明名称 VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03207871(A) 申请公布日期 1991.09.11
申请号 JP19900004288 申请日期 1990.01.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 URAKUCHI MASAHIRO
分类号 B01J3/02;B01J4/00;C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
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