| 发明名称 |
HYDROXYPHENYL-TERMINATED LADDER POLYSILOXANE FOR SEMICONDUCTOR AND PRODUCTION OF HYDROXYPHENYL-TERMINATED LADDER POLYSILOXANE HAVING HIGH PURITY |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH03207719(A) |
申请公布日期 |
1991.09.11 |
| 申请号 |
JP19900002868 |
申请日期 |
1990.01.10 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMAMOTO SHIGEYUKI;ADACHI HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/768;C08G77/06;C08G77/16;C08G77/20;C08G77/22;C08G77/34;G03F7/075;H01L21/312;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
