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发明名称
FORMATION OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号
JPH03207862(A)
申请公布日期
1991.09.11
申请号
JP19900003095
申请日期
1990.01.09
申请人
NEC CORP
发明人
BABA MASAKAZU
分类号
B01J19/08;C23C16/04;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/04
主分类号
B01J19/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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