发明名称 Method of correcting astigmatism of variable shaped beam
摘要
申请公布号 US5047646(A) 申请公布日期 1991.09.10
申请号 US19900570024 申请日期 1990.08.20
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 HATTORI, KIYOSHI;TAMAMUSHI, SHUICHI;NISHIMURA, EIJI;IKEDA, NAOTAKA;WADA, HIROTSUGU
分类号 G03F7/20;H01J37/153;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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