发明名称 Temperature compensating contact to avoid misregistration
摘要
申请公布号 US5047836(A) 申请公布日期 1991.09.10
申请号 US19900593383 申请日期 1990.10.02
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 TOKUNOH, FUTOSHI
分类号 H01L29/74;H01L21/52;H01L23/051;H01L23/48 主分类号 H01L29/74
代理机构 代理人
主权项
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