发明名称 Verification and correction method for an error model for a measurement network
摘要
申请公布号 US5047725(A) 申请公布日期 1991.09.10
申请号 US19890443213 申请日期 1989.11.28
申请人 CASCADE MICROTECH, INC. 发明人 STRID, ERIC W.;DAVIDSON, ANDREW C.
分类号 G01R27/04;G01R27/28;G01R31/00;G01R35/00 主分类号 G01R27/04
代理机构 代理人
主权项
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