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经营范围
发明名称
CLEANING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03206615(A)
申请公布日期
1991.09.10
申请号
JP19900001977
申请日期
1990.01.09
申请人
HITACHI LTD
发明人
KONO TOSHIHIKO
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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