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发明名称 AUTOMATIC LAY-OUT SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH03205850(A) 申请公布日期 1991.09.09
申请号 JP19900001187 申请日期 1990.01.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 HINO TETSURO;KONDO SHIZUO;HAIJIMA MIKIO;NISHIKATA ASAO;FUKUDA MASANORI;TSUKIZOE AKIRA;SHIRAISHI YOICHI;KIMURA MITSUYUKI;KOBAYASHI KAZUHIKO;HOJO SABURO
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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