发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03205848(A) 申请公布日期 1991.09.09
申请号 JP19900000691 申请日期 1990.01.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 KUBOTA HIROYOSHI
分类号 H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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