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发明名称 REMOVAL OF SURFACE DEFECT ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH03204931(A) 申请公布日期 1991.09.06
申请号 JP19890344155 申请日期 1989.12.29
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 ITOU YOSHITERU;IKEDA MASAKIYO;ISHIWATARI SHINICHI;YOTSUYA KAZUO
分类号 H01L21/205;H01L21/304 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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