发明名称 INTERFEROMETER TO DETERMINE THE POSITION OF OR DISTANCE TRAVELLED BY A MOVABLE MEASURING MIRROR OR THE LIKE
摘要 <p>Interferometer insbesondere zur Längenmessung, mit einer Laserlichtquelle (2) und einem Strahlteiler (7) zur Aufteilung des Laserlichtes in einen Meßstrahl und einen Referenzstrahl, die nach Durchlaufen geometrisch getrennter Wege in wenigstens einer Rekombinationseinrichtung (15) interferieren, und mit einer photoelektrischen Detektoreinrichtung (3) zur Auswertung der aus der bzw. den Rekombinationseinrichtung(en) (15) stammenden Interferenzsignale. Zwischen Laserlichtquelle (2) und dem eigentlichen Interferometer mit dem Strahlteiler (7) ist eine flexible Lichtleitfaser (5) zur Laserlichtzufuhr angeordnet. Um unabhängig von äußeren Einwirkungen auf die Laserlichtzufuhr-Lichtleitfaser einen optischen Betrieb des Interferometers sicherzustellen, weist das Interferometer eine Polarisiereinrichtung (11) zur Festlegung einer definierten, vorzugsweise linearen Polarisation des Laserlichtes am Eingang des Strahlteilers (7) auf, die günstigerweise nach der flexiblen Laserlichtzufuhr-Lichtleitfaser (5) und vor dem Strahlteiler (7) angeordnet ist.</p>
申请公布号 WO1991013317(A2) 申请公布日期 1991.09.05
申请号 AT1991000034 申请日期 1991.02.28
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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