摘要 |
<p>Interferometer insbesondere zur Längenmessung, mit einer Laserlichtquelle (2) und einem Strahlteiler (7) zur Aufteilung des Laserlichtes in einen Meßstrahl und einen Referenzstrahl, die nach Durchlaufen geometrisch getrennter Wege in wenigstens einer Rekombinationseinrichtung (15) interferieren, und mit einer photoelektrischen Detektoreinrichtung (3) zur Auswertung der aus der bzw. den Rekombinationseinrichtung(en) (15) stammenden Interferenzsignale. Zwischen Laserlichtquelle (2) und dem eigentlichen Interferometer mit dem Strahlteiler (7) ist eine flexible Lichtleitfaser (5) zur Laserlichtzufuhr angeordnet. Um unabhängig von äußeren Einwirkungen auf die Laserlichtzufuhr-Lichtleitfaser einen optischen Betrieb des Interferometers sicherzustellen, weist das Interferometer eine Polarisiereinrichtung (11) zur Festlegung einer definierten, vorzugsweise linearen Polarisation des Laserlichtes am Eingang des Strahlteilers (7) auf, die günstigerweise nach der flexiblen Laserlichtzufuhr-Lichtleitfaser (5) und vor dem Strahlteiler (7) angeordnet ist.</p> |