发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03203349(A) 申请公布日期 1991.09.05
申请号 JP19890342251 申请日期 1989.12.29
申请人 SHARP CORP 发明人 ROORENSU KEIZU HOWAITO;SHIEN TEN SUU
分类号 H01L21/76;H01L21/31 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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