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发明名称 METHOD FOR REDUCING MOBILE ION CONTAMINATION IN SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP0375255(A3) 申请公布日期 1991.09.04
申请号 EP19890312980 申请日期 1989.12.12
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 HARRUS, ALAIN SIMON;LAWRENCE, CRIS WESTON;HILLS, GRAHAM WILLIAM;THOMA, MORGAN JONES
分类号 H01L21/768;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/314;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
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