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Détecteur amélioré de gaz pour un microscope électronique à balayage d'ambiance (ESEM). Un premier détecteur d'électrons (28) est solidaire de l'ouverture limitant la pression (14). Un ensemble d'électrode généralement annulaire (36) est positionné légèrement au-dessous de l'ouverture limitant la pression (14) et comprend un détecteur d'électrons interne (30) en forme d'anneau mince, un détecteur d'électrons intermédiaire (32) en forme de segments d'arc concentriques (38a, 38b), et un détecteur d'électrons externe (34) également en forme de segments d'arc concentriques (40a, 40b). Un détecteur d'électrons à ouverture (42) en forme d'anneau mince est positionné au-dessus de l'ouverture limitant la pression (14). Une grille de commande (70) peut être placée entre les détecteurs (28, 30, 32, 34, 42) et le porte-objet (26) et est polarisée avec un potentiel électrique situé entre le potentiel électrique appliqué aux electrodes (28, 30, 38a, 38b, 40a, 42) et au porte-objet (26), de manière à accroître l'accélération des signaux émis par l'échantillon (24). |
