Device and procedure for vacuum evaporation of a material, plasma arc device and utilisation of the procedure.

摘要

Um einen Verdampfungslichtbogen an einem Target, das mindestens an seiner Oberfläche ein zu verdampfendes hochschmelzendes Material aufweist, zu zünden, zu stabilisieren und zu führen, ist eine Elektronenstrahlkanone oder ein Laser vorgesehen, für das Erzeugen einer lokalen Dampfwolke oder eines vorgeschmolzenen Fleckens auf der Targetoberfläche, um damit den Lichtbogenfleck zu zünden resp. zu führen.