| 发明名称 |
LIGHT-IRRADIATION TYPE GASEOUS PHASE TREATMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03203227(A) |
申请公布日期 |
1991.09.04 |
| 申请号 |
JP19890344635 |
申请日期 |
1989.12.28 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
IZEKI IZURU;MATSUI HIROSHI;KITAGAWA MASARU;TAKEUCHI TSUTOMU |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/027;H01L21/263;H01L21/30;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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